用于硅太阳能电池的激光椭偏仪 紧凑型创新设备,旨在测量沉积在纹理硅(单硅和多硅)衬底上的抗反射涂层的厚度和光学常数。可以轻松实现优化的入射角(12-90°),以获得沉积在多晶结构晶圆上的薄膜的大信号。金字塔结构可以定向以获得正确的测量值,同时将样品牢固地保持在适当的位置。