7037 和 7027 系列在线射频功率传感器率先将可追溯的测量精度引入市场,适用于需要准确射频功率测量的应用,例如半导体、激光行业。BIRD先进的 CW 和脉冲传感器,大限度地减少射频工艺的可变性,改变等离子室与室的匹配,并为您的射频传输系统提供重要的洞察力。借助 Bird 的校准技术,可在整个动态范围内保证百分之0.5的精度,从而确保单元间的可重复性并降低过程可变性。无论您使用的是 CW 还是 Pulsed RF,这两种测量结果都会使用 Bird 的功率计自动显示,无需切换模式。在每个脉冲内使用多达 4 个间隔自定义您的复杂工艺配方测量。