平面 XY 工作台由称为压力器的移动元件组成,它在称为压板的特殊“华夫饼状”表面上的无摩擦空气轴承上滑动。
单平面上的两轴 XY 运动
加速到 2g
速度 1 米/秒
高重复性 3 µm
分辨率 1 µm
精度 10 至 25 µm
在单个压板上具有重叠轨迹的多个强制器
安装面朝上或倒置
低成本的双轴定位平台