集成系统将线性或 XY 平台与转台相结合,提供交钥匙解决方案。平台可配备直接驱动直线电机或基于滚珠丝杠的机械装置。
升降-旋转台为轻型到中等有效载荷提供准确且独立的旋转和垂直平移。该平台结合了 LSZ-12W 垂直平台和 PSR150-30 转台,外形非常紧凑,适用于空间受限的应用。
升降 Z 台LSZ12W
升降行程:12 mm
重复性:± 2µm
分辨率:1 µm
上升有效载荷:10 kg
上升力速度:25 mm/sec
机械:滚珠丝杠/楔形
电机:伺服
旋转台 PSR150-30
回转:无限制
重复性:± 2 arc-sec
分辨率:± 2 arc-sec
扭矩:6 Nm
角速度:180转
机械:直接驱动
电机:伺服