GPC3000压力流量控制器主要为电容压力计提供电源(±15VDC),接收并显示来自它的压力信号,连接节流阀,并使用PID或自整定功能控制压力。其中,如果使用自整定功能,则通过检测流入腔室的气体量、泵速、阀位引起的真空压力变化等重要参数来获取压力控制因素。如果用户使用此功能来控制压力,可以更快地达到所需压力。内置两个过程限位继电器,帮助用户设备过程。